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	Laser PIT系列光交流法热扩散率测定装置	本装置采用激光扫描加热AC法 Angstrom法，由成膜后取样基板外表的热扩散率和取样基板本体的热扩散率的测定结果，测量成膜后微小厚度薄膜的热传导率。

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