红外线灯管加热装置QHC系列 台式型
红外线灯管加热装置VHC系列 气氛可变型
温度升温速度快，精度高
QHC系列是由红外线金面反射炉，高精度数字温度控制器，石英加热室所构成的高速加热及冷却装置
用途
用气氛热处理研究各种基础材料高温气体的骤冷热处理。热循环试验，热冲击试验半导体材料的烧成，退火条件研究2英寸硅片的退火条件研究控制气氛的氧气量对超导材料的退火条件研究
●特长
具有宽域的温度加热范围，多种加热方式。标准的气体冷却控制系统，在温度加热(保持)后，可容易的控制通入的骤冷及冷却气体。 使用选择部件真空排气装置，试样可在真空，各种气体，流动气体中加温。
●技术指标
型号
VH,QHC-E410系列
VH,QHC-E610系列
VH,QHC-E616系列
加热方式
红外线金面反射炉
最高到达温度
1400 ℃
1200 ℃
常用最高温度
1000 ℃
加热区
φ15mm×100mmL
φ50mm×100mmL
φ50mm×150mmL
均热区
φ10mm×80mmL
φ15mm×80mmL
φ40mm×120mmL
冷却方式
试样室内石英喷嘴式
加热室
石英φ50mm
石英φ98mm
试样保护管
石英
气体控制器
标准装置
温度控制器
TPC系列
电源容量
AC200V1φ10KVAAC100V / 10A
AC200V1φ15KVAAC100V / 10A
AC200V1φ20KVAAC100V / 10A
所要冷却水
8L／min (0．2MPa)以上
10L／min (0．2MPa)以上
12L／min (0．2MPa)以上
